适用范围：本文件规定了激光位移测量传感器的术语和定义、分类与命名、要求、试验方法以及标志和包装。 本文件适用于利用激光作为探测光源，基于三角反射、光谱共焦等光学测量原理，对物体位移、厚度、振动、轮廓、距离等几何量进行非接触测量的工业用激光位移测量传感器。主要适用于高精密微小尺寸检测、零部件平面度与微小段差在线判定，以及工业机器人末端高精度位姿引导等常规自动化操作与量测场景。 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 分类与命名 4.1 分类 4.2 命名 5 要求 5.1 外观与结构 5.2 基本参数 5.3 测量性能 5.4 电气性能 5.5 机械性能 5.6 环境适应性与可靠性 5.7 电磁兼容性 6 试验方法 6.1 试验环境条件 6.2 外观与结构检查 6.3 测量性能试验 6.4 电气性能试验 6.5 机械性能试验 6.6 环境与可靠性试验 6.7 电磁兼容性试验 7 检验规则 8 标志和包装 8.1 标志 8.2 包装 附录A（资料性） 检验规则 参考文献

适用范围：本文件规定了半导体薄膜沉积设备气体管道用质量流量传感器的环境要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。 本文件适用于半导体薄膜沉积工艺中，对硅烷、氨气、三氟化氮等腐蚀性气体进行高精度质量流量测量的传感器

适用范围：本文件界定了光学陀螺测角仪的术语和定义，规定了型式与基本参数、技术要求、检验条件、标志与包装，描述了检验方法等。 本文件适用于精度等级为1级、2级、3级的光学陀螺测角仪的设计、制造和检验。 注：精度等级按照角位置测量误差划分，其中1级的角位置测量误差在±0.2″之间，2级的角位置测量误差在±1″之间，3级的角位置测量误差在±5″之间。

适用范围：本文件规定了用于强电场环境的盘形悬式绝缘子性能检测装置的技术要求、检验要求、检验方法和现场操作方法。 本文件适用于强电场环境的盘形悬式绝缘子（以下简称绝缘子）性能检测装置的生产与检验

适用范围：本文件规定了呼吸阀泄漏量检测校验装置（以下简称 “装置”）有关基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存的要求。 本文件适用于检测储罐顶部阻火呼吸阀泄漏量的校验装置的设计、制造、检验和使用

适用范围：本文件规定了机器视觉远程位移监测设备的设备结构、型号和基本参数、技术要求、功能要求、试验方法、产品检验、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于建筑工程领域（如装备变形监测、结构位移监测、土体沉降位移监测等）中机器视觉远程位移监测设备的研发、生产、检验与应用，其他领域可参照执行。 本文件规定了机器视觉远程位移监测设备的设备结构、型号和基本参数、技术要求、功能要求、试验方法、产品检验、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于建筑工程领域（如装备变形监测、结构位移监测、土体沉降位移监测等）中机器视觉远程位移监测设备的研发、生产、检验与应用，其他领域可参照执行

适用范围：本文件规定了并联式三坐标测量机的结构组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于并联式三坐标测量机的生产和检验