GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

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GBT328142016

硅基MEMS制造技术

基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-basedMEMSfabricationtechnolo—

gy

SecificationforcriterionoftheSOIwaferbasedMEMSrocess

pp

2016-08-29发布2017-03-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT328142016

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4工艺流程…………………1

4.1概述…………………1

4.2硅片清洗……………2

4.3掩膜制备……………2

4.4干法刻蚀……………4

4.5结构释放……………5

4.6硅片去掩膜…………………………7

5工艺加工能力……………7

5.1工艺能力要求………………………7

5.2工艺稳定性要求……………………8

6工艺保障条件要求………………………8

6.1人员要求………………………