GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 30867-2014 Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准
中文简体
现行
页数：6页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了碳化硅单晶片厚度及总厚度变化（TTV）的测试方法，包括接触式和非接触式两种方式。
本标准适用于直径不小于30 mm、厚度为0.13 mm～1 mm的碳化硅单晶片。
本标准适用于直径不小于30 mm、厚度为0.13 mm～1 mm的碳化硅单晶片。
发布历史
-
2014年07月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS29.045
H83
中华人民共和国国家标准
/—
GBT308672014
碳碳化硅单晶片厚度和总厚度
变化测试方法
Testmethodformeasurinthicknessandtotalthicknessvariationof
g
monocrstallinesiliconcarbidewafers
y
2014-07-24发布2015-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
碳化硅单晶片厚度和总厚度
变化测试方法
/—
GBT308672014
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号()
2100029
北京市西城区三里河北街号()
16100045
定制服务
推荐标准
- GB/T 14048.8-2016 低压开关设备和控制设备 第7-2部分：辅助器件 铜导体的保护导体接线端子排 2016-04-25
- GB/T 14033-2016 桑蚕捻线丝 2016-04-25
- GB/T 15972.48-2016 光纤试验方法规范 第48部分：传输特性和光学特性的测量 方法和试验程序 偏振模色散 2016-04-25
- GB/T 14048.11-2016 低压开关设备和控制设备 第6-1部分：多功能电器 转换开关电器 2016-04-25
- GB/T 15766.2-2016 道路机动车辆灯泡 性能要求 2016-04-25
- GB/T 14094-2016 卤钨灯(非机动车辆用) 性能要求 2016-04-25
- GB/T 15551-2016 桑蚕丝织物 2016-04-25
- GB/T 16284.8-2016 信息技术 信报处理系统(MHS) 第8部分：电子数据交换信报处理服务 2016-04-25
- GB/T 13993.1-2016 通信光缆 第1部分：总则 2016-04-25
- GB/T 16284.10-2016 信息技术 信报处理系统(MHS) 第10部分：MHS路由选择 2016-04-25