适用范围：本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。 分子式：PH3。 相对分子质量：33.99758（按2005年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。 分子式：Ar。 相对分子质量：39.948(按2005年国际相对原子质量)。

适用范围：本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。

适用范围：本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 分子式：He。 相对分子质量：4.003（按2005年国际相对原子质量）。

适用范围：本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式：BF3。 相对分子质量：67.805（按2005年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。 分子式：O2。 相对分子质量：31.998 8（按2005年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了氧化亚氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。 分子式：N2O。 相对分子质量：44.012 8（按2005年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 分子式：SiH4。 相对分子质量：32.117（按2005年国际相对原子质量）。

适用范围：本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。

适用范围：本标准规定了医用氧及航空呼吸用氧产品的要求、检验规则、试验方法以及包装、标志、储存、运输与安全警示。 本标准适用于由分离空气制取的气态及液态医用氧、航空呼吸用氧。主要用于医疗、制备潜水呼吸混合气、航空飞行呼吸等。 分子式：O2。 相对分子质量：31.998 8（按2005年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了高纯二氧化碳的要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全警示。 本标准适用于以工业二氧化碳为原料经纯化制得的高纯度二氧化碳。高纯二氧化碳主要用于激光、电子工业、反应堆气体冷却剂、科学研究等领域。 分子式：CO2 分子量：44.009 5 (按2007年国际原子量表计算)

适用范围：本标准规定了气态氢在使用、置换、储存、压缩与充（灌）装、排放过程以及消防与紧急情况处理、安全防护方面的安全技术要求。 本标准适用于气态氢生产后的地面上各作业场所，不适用于液态氢、水上气态氢、航空用氢场所及车上供氢系统。氢气生产中的相应环节可参照执行。

适用范围：本标准规定了戊烷发泡剂的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含戊烷的原料经分馏精制而得的戊烷发泡剂，该产品主要在可发性聚苯乙烯和软质聚氨酯生产工艺中作发泡剂，也可用于化学工业或实验溶剂。

适用范围：本标准规定了气雾剂级丙烷的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含丙烷的原料，经过一定工艺处理得到的丙烷，该产品主要用作气雾推进剂。

适用范围：本标准规定了气雾剂级异丁烷的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含异丁烷的原料，经过一定工艺处理得到的异丁烷，该产品主要用作气雾推进剂。

适用范围：本标准规定了气雾剂级正丁烷的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含正丁烷的原料，经过一定工艺处理得到的正丁烷，该产品主要用作气雾推进剂。 分子式：CH 3(CH 2) 2CH 3 相对分子质量：58.12（按2001年国际相对原子质量）

适用范围：本标准规定了用称量法制备校准混合气的方法，该方法用于制备瓶装校准混合气，该混合气准确度的期望值是预先设定的。它仅适用于气态，或能完全气化的组分的气体混合物，并且各组分之间、组分与瓶壁之间不发生反应。对于制备基于预先设定不确定度水平的气体混和物，本标准给出了一个制备程序。 多组分气体混合物（包括天然气）和多级稀释气体混合物都包含在本标准中，可以认为是单组分称量制备法的特例。 本标准还规定了称量法制备校准混合气中组分含量的验证程序。与其他制备校准混合气的方法相比，称量法制备和验证的校准混合气的准确度是最高的。

适用范围：本部分规定了通过测定气体露点来测定气体中微量水分的方法。 本部分适用于氢、氧、氮、氦、氖、氩、氪、氙、氧化亚氮、六氟化硫等气体以及由它们能够组成的混合气体中微量水分的测定，不适用于在水分冷凝前就冷凝的气体以及能与水分发生反应的气体。 本部分适用于0℃～-120℃气体露点的测定。

适用范围：本标准规定了气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的气相色谱测定方法。 本标准适用于氢、氧、氮、氦、氖、氩、氪和氙等气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷组分的分项测定，一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总量（总碳)的测定和总烃的测定。