YS/T 28-2015 硅片包装

ICS29.045

H80

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST282015

代替/—

YST281992

硅片包装

Packaeofsiliconwafers

g

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2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST282015

硅片包装

1范围

本标准规定了硅片的包装。

、、、()

本标准适用于硅单晶抛光片外延片SOI等硅片的洁净包装硅单晶研磨片简称硅研磨片包装

,、。

和太阳能电池用硅片包装使其在运输贮存过程中避免再次沾污和破碎

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/硅单晶抛光片

GBT12964

/硅单晶切割片和研磨片

GBT12965

/硅外延片

GBT14139

/半导体材料术语

GBT14264

/太阳能电池用硅单晶切割片

GBT26071

/太阳电池用多晶硅片

GBT29055

/硅单晶抛光片

GBT29506300mm

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GB50073洁净厂房设计规范

3术语和定义

/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

GBT14264

3.1

洁净包装cleanackae

pg

用专用的运输片盒对抛光片、、,、、

外延片SOI等晶片进行包装使其在运输贮存过程中避免颗粒金

属及有机物等对片盒中晶片的沾污。

3.2

结合胶带seamtae

p

,。

有黏附层的胶带用于密封晶片盒的座和盖之间的接口

3.3

片盒waferbox

,,。

由一个盒座和一个盒盖组成的封闭容器其中带有装载晶片的片篮一起组成一套晶片片盒用于

贮存和运输晶片。

3.4

内包装袋innerwra

p

,。

封装专用片盒的内层包装袋通常采用洁净的塑料袋

3.5

外包装袋outerwra

p

,、。

将已封装内包装袋的专用片盒再次封装用的外层包装袋通常采用防潮防静电的铝箔袋

1

/—

YST282015

3.6

外包装箱outercarton

运输装有多个双层封装专用片盒的纸箱。

3.7

EPP材料exandedolrolene

ppyppy

,。

EPP是发泡聚丙烯的缩写是一种新型泡沫塑料的简称

3.8

EPE材料exandableolethlene

ppyy

,,。()

可发性聚乙烯又称珍珠棉是非交联闭孔结构它是以低密度聚乙烯LDPE为主要原料挤压生

成的高泡沫聚乙烯制品。

3.9

材料

EPSexandableolstrene

ppyy

(),

可发性聚苯乙烯EPS通称聚苯乙烯和苯乙烯系共聚物是一种树脂与物理性发泡剂和其他添加

剂的混合物。

3.10

时间雾;

timedelahazeTDH

y

,,

经洁净封装后的硅抛光片表面随时间的延迟由于各种原因导致表面生成了一层雾状严重时在目

检灯下看到的各种颜色的雾。

4干扰因素

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4.1洁净包装干扰因素

、,、,

4.1.1装载经过清洗检验合格的硅片应使用专用片盒且该片盒也应经过专用设备的清洗干燥以

。

保证片盒不会对其中的硅片造成损伤和沾污专用片盒的制备材料应保证