GB/T 29506-2013 300 mm硅单晶抛光片
GB/T 29506-2013 300 mm polished monocrystalline silicon wafers
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了直径300 mm、p型、100晶向、电阻率0.5 Ω·cm～20 Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片，产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
本标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片，产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
发布历史
-
2013年05月
研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
- 起草人：
- 闫志瑞、孙燕、盛方毓、卢立延、张果虎、向磊
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- SJ/T 9530-1993 数字电子计算机用阴极射线管显示器质量分等标准 1993-07-13
- HB 3846-1986 吸物器 1986-07-14
- QJ 1877-1990 管理信息系统总体标准 数据安全技术实施细则 1990-01-13
- GA/T 162.4-1999 指纹自动识别系统数据交换工程规范 指纹自动识别系统的基本性能指标 1999-08-31
- HB 4-71-1976 压力注油嘴 1976-10-27
- JJG 62-1995 塞尺 1995-08-25
- HG/T 2709-1995 聚酯多元醇中羟值的测定 1995-05-05
- QB/T 1726-1993 散页相纸尺寸 1993-04-15
- QB/T 2669-2004 泡沫塑料吸水性试验方法 2004-12-14
- QJ 1145.35-2007 焊接夹具零件及部件 第35部分：光面压块 2007-05-22