GB/T 29504-2013 300 mm硅单晶

ICS29.045

H82

中华人民共和国国家标准

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GBT295042013

300mm硅单晶

300mmmonocrstallinesilicon

y

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2013-05-09发布2014-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT295042013

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC203

:、、

本标准起草单位有研半导体材料股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所万向硅

、。

峰电子股份有限公司宁波立立电子股份有限公司

:、、、、、、。

本标准主要起草人闫志瑞孙燕卢立延张果虎楼春兰刘培东向磊

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Ⅰ

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GBT295042013

300mm硅单晶

1范围

、、<>、··、

本标准规定了直径300mmp型100晶向电阻率0.5Ωcm~20Ωcm硅单晶的技术要求

、、、、。

试验方法检验规则以及标志包装运输贮存等

,

本标准适用于由直拉法制备的硅单晶主要用于制作满足集成电路用线宽及以下技

IC0.13m

μ

术需求的300mm硅单晶抛光片。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

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3术语和定义

/界定的术语和定义适用于本