GB/T 30861-2014 太阳能电池用锗衬底片

ICS29.045

H82

中华人民共和国国家标准

/—

GBT308612014

太阳能电池用锗衬底片

Germaniumsubstrateforsolarcell

2014-07-24发布2015-04-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT308612014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)及材料分技术委员会

SACTC203

(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

:、、、

本标准起草单位中锗科技有限公司云南临沧鑫圆锗业股份有限公司厦门乾照光电有限公司天

津三安光电有限公司。

:、、、、、。

本标准主要起草人孙小华刘绍良张莉萍普世坤王向武林桂江

Ⅰ

/—

GBT308612014

太阳能电池用锗衬底片

1范围

、、、、、、

本标准规定了太阳能电池用锗衬底片的要求试验方法检验规则以及标志包装运输储存质量

()。

证明书与订货单或合同内容

()()(

本标准适用于垂直梯度凝固法VGF和直拉法CZ制备的太阳能电池用锗衬底片以下简称锗衬

底片)。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/:()

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GBT2828.11AQL

/硅片厚度和总厚度变化测试方法

GBT6618

/硅片弯曲度测试方法

GBT6619

/硅片翘曲度非接触式测试方法

GBT6620

/硅片表面平整度测试方法

GBT6621

/硅抛光片表面质量目测检验方法

GBT6624

/硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

GBT13387

/太阳能电池用锗单晶

GBT26072

3要求

3.1产品分类

锗衬底片按导电类型分为两种:

):;

aN型主要用于单结电池

):。

bP型主要用于三结电池

3.2规格

锗衬底片按直径分为、、。

Φ50.8mmΦ100mmΦ150mm

3.3物理性能及位错密度

、、、、

锗衬底片导电类型掺杂剂电阻率晶向及晶向偏离度载流子浓度和位错密度应符合

/的规定。

GBT26072

3.4外形尺寸

锗衬底片的外形尺寸应符合表的规定。

1

1

/—

GBT308612014

表1外形尺寸

项目要求

直径/mm50.8100150

直径允许偏差/mm±0.2±0.2±0.2

、/

厚度中心点μm140~200140~200240~270

厚度允许偏差/μm±15±15±15

主参考面长度/mm17±1.032.5±1.057.5±2.5

总厚度变化()/

TTVm≤10≤15≤15

μ

弯曲度()/

BOWm≤15≤20≤30

μ

翘曲度()/

WARPm≤15≤20≤30

μ

总平整度()/

TIRm≤5≤5≤5

μ