适用范围：本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1（1×10-2 Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。 总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。 在许多实际应用中，只需确定总放气率。如果使用了灵敏度与气体种类有关的测试仪器，则总放气率以等效氮气放气率的形式给出。如果总放气率很高，为了改进样品材料，存在需要辨别干扰气体的种类和测定其放气率的情况。本文件涵盖上述两种情况。 放气产生的一些分子能够被表面吸附且滞留时间远长于总测试时间。这些分子不在直接路径上时，也不能被测试仪器检测到。这可认为是一种表面效应，采用表面分析研究远比这里考虑的常规放气率测量更加行之有效。同时，受紫外光或X射线照射从表面释放的分子，也不适用于本文件。 制定本文件是为了使放气率的测试方法标准化，使得在不同实验室和采用不同方法获得的测试值具有可比性。为此，对于本文件中规定的任一种方法，每种方法中最重要的参数可依据计量水平溯源到国际基本单位（SI）。 质量损失法是一种与气体种类无关的放气率测试方法，主要用于航天器及卫星材料的放气率测试。在可接受的测试时长范围内，质量损失法可测试的放气率（＞1×10-5 Pa·m3·s-1）明显高于常规高真空和超高真空组件的放气率。而且，由于天平不适于在真空环境下应用，考虑到真空室的重量，无法原位测试样品。因

适用范围：本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。 本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。 根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。 已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。 根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压力，直至大气压力。但是，本文件不适用于采用分流抽气技术的四极质谱仪。因此，本文件中四极质谱仪入口处的压力范围不超过1 Pa。 本文件未规定制造商或者经销商宜如何调整四极质谱仪的初始参数，这些初始参数主要用来提供一个准确的m/z、恒定的质量分辨本领或恒定的传输概率，这是设备的基本参数。反之，本文件默认有一个制造商提供的参数重调程序，使用者能在现场重新调整参数。该程序旨在确保四极质谱仪的特性参数均处于最优状态。 本文件旨在让使用者通过其四极质谱仪获得最佳的计量效果。调查得知，多数情

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空管束干燥机的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空管束干燥机

适用范围：主要技术内容:本标准规定了自动循环式热风干燥机的术语和定义、结构型式和型号分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于自动循环式热风干燥机的生产、检验和验收

适用范围：范围:本文件适用于原子层沉积粉体包覆设备的制造; 主要技术内容:本文件规定了原子层沉积粉体包覆设备的型号编制、组成与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备; 主要技术内容:规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备

适用范围：本文件规定了磁控溅射设备薄膜精度的测试方法，测试原理，被测件，测试环境和测试程序等。 本文件适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。

适用范围：范围:本文件规定了高效带式干燥机的术语和定义、分类与编码/构成、基本参数及正常工作条件、要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于医药、化工、食品、建材等行业的条状、块状、颗粒状物料干燥的高效带式干燥机; 主要技术内容:一、分类与编码/构成：分类、编码、构成；二、基本参数与正常工作条件：基本参数、正常工作条件；三、要求：1.材料；2.外观；3.装配质量；4.性能：空载试验、密封性、干燥箱升温时间、箱体外表面温度、进风温度调控、箱内温差、温度示值误差、干燥强度、能耗、物料收得率、噪声、尾气粉尘排放量、布料均匀性；5.电气安全：保护联结电路的连续性、电阻试验、耐压试验、操动器、指示灯和显示器、配线技术、标记、警告标志和参照代号、采用PELV作的保护

适用范围：主要技术内容:本文件规定了医用真空机组（以下简称“机组”）的术语和定义、分类、主要设备构成、基本要求及技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输及贮存等。本文件适用于医疗卫生机构、生物安全实验室中心吸引系统的医用真空机组

适用范围：GB/T 40344的本部分规定了三种体积流率测量方法，并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。  测量体积流率的第一种方法（流量法）是一种基础方法：向真空泵内注入稳定流量的气体，同时测量泵的入口压力。在实际测量中，气体流量的测量可能是复杂或不精确的。为此，规定了另两种方法，以避免直接测量流量。  测量体积流率的第二种方法（小孔法）适用于入口压力非常低（高真空或者超高真空）、流量非常小的情况。该方法是基于测量测试罩双测试室中的压力比。该测试罩由一个带圆孔的薄壁分隔成两个腔室。  测量体积流率的第三种方法（抽气法）是基于大型容器抽空的方法，非常适用于自动化测量。通过抽气间隔前后的两个压力值和测试罩的体积来计算体积流率。测量结果及最后得出的体积流率受不同条件影响，如漏率和放气率、抽气间隔过程中由于接近于等熵膨胀引起的气体冷却、低压分子流态下引起测试罩与真空泵之间连接管路的流阻增加。  测量方法的选择取决于特定种类真空泵的属性。例如，只有需要配备前级泵的真空泵才需要测量临界前级压力。所有未在本部分中规定的真空泵的测量参数（例如功耗的测量），在相应泵的标准中予以规定。

适用范围：GB/T 40344的本部分规定了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法，该容积真空泵是直接排大气且其基础压力通常低于10 kPa。本部分中，有必要使用GB/T 40344.1中规定的方法测定体积流率和基础压力。本部分同样适用于其他直接排大气的泵，例如牵引泵。

适用范围：本标准界定了四极质谱仪相关的术语，并规定了制造商说明书中需要的参数，用于正常的校准和分压力测量质量的保证。本标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比（m/z）小于300的物质。配有如化学电离、光电离、场致电离等其他类型的离子源，以及主要用于检测质荷比（m/z）大于300的特定有机物质的四极质谱仪，不在本标准适用范围内。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变螺距螺杆型干式真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、铭牌、标志、贮存、文件、装箱、包装和运输、质量承诺。本文件适用于变螺距螺杆型干式真空泵（以下简称“真空泵”）

适用范围：范围:本文件规定了真空充氮杀虫灭菌设备的规格分类、型式与参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则，及标志、包装、运输和贮存的要求。 本文件适用于对所有纸质、丝绸、竹简和木质等材质的书籍、档案和文物进行杀虫灭菌设备的制造; 主要技术内容:随着城市经济、文化和社会的发展，图书、档案、文物、文献资料的重要性愈发凸显。杀虫灭菌是开展档案保护的基础性工作之一，对延长档案寿命具有重要意义。真空充氮是一种新兴有效的档案、文物杀虫灭菌物理方法，安全且无毒害，对书籍、档案和文物等没有明显的不良影响，因此得以广泛推广使用。本文件的制定，旨在规范性能参数的测量方法，确保设备的安全性、可靠性和稳定性，亦为设备的生产、制造提供指导。可推动真空充氮杀虫灭菌设备的技术发展及优化设计，规范该设备的行业发展，也有利于该设备的大范围推广应用。前言II引言III1范围12规范性引用文件13术语和定义14设备规格分类25型式与参数26基本要求37技术要求38试验方法59检验规则610标志、包装、运输、贮存6附录A（资料性）档案图书害虫在充氮保压状况下的致死时间8参考文献9

适用范围：主要技术内容:本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）

适用范围：本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。