适用范围：本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。 本文件不适用于： ——根据微生物污染评估适用性； ——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试； ——设备和材料的可清洁性； ——设备设计及材料选择的要求； ——材料的静电、热学等物理性能； ——具体工艺场合设备性能的优化； ——测试统计方法的选用； ——当地安全法规的条款和要求。

适用范围：本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。本文件包含以下一般性指南：--表面目标洁净度等级；--清洁方法的适用性；--表面与清洁技术的相容性；--清洁方法适宜度的评估。本文件不包含以下事项：--清洁方法的分类；--洁净室内生产的产品；--与特定表面相关的具体清洁方法；--各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明；--材料特性的详细说明；--清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制；--污染物与表面间的黏附力，以及通常与时间和工艺相关的黏附过程；--粒子的其他特性，如静电、离子等；--分子污染物与表面的化学反应；--表面微生物；--放射性污染；--健康、安全；--环境因素，如：废物处理、排放等；--统计方法的选用。

适用范围：本文件给出了纳米尺度科研生产受控环境的规划与选址勘察、设计要求等。本文件适用于纳米尺度科研生产受控环境的规划与设计。

适用范围：本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 μm（100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。 本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。 注1： 本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片)、2维上（纳米纤维)或3维上（纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。 注2： 请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。 注3： 本文件未考虑健康与安全事项。

适用范围：本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区、GB/T 25915.7所述的隔离装置中的空气洁净度等级。 本文件适用于粒径挡下限为0.1 μm~5 μm的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。 超细粒子（＜0.1 μm）的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点，规定使用光散射（离散式）空气悬浮粒子计数器（LSAPC）判定大粒子（＞5 μm）的粒子浓度，用M描述符对其量化。 本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。

适用范围：本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。 本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。 注1： 本文件仅考虑微粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质。本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。 注2： 本文件不涉及污染产生的过程，不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。

适用范围：本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。 本文件适用于粒径0.1 μm～5 μm粒子浓度的监测。 本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子（小于0.1 μm的粒子）浓度的监测，将在另一个标准中规定。

适用范围：本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质（种、组或类）的浓度，对空气化学污染进行分级。同时，本文件分级技术要求，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。   本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中100g/m3～10-12g/m3的化学污染物浓度。 本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。 本文件无意探讨空气化学污染物的特性。 本文件不包含对表面化学污染的分级。

适用范围：本标准给出了对洁净室及相关受控环境的节能指南。 本标准适用于洁净室及相关受控环境。

适用范围：本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。 本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。 本标准不适用于核能和军事应用。

适用范围：本标准规定了洁净室及相关受控环境组合式围护结构的技术要求和检测方法。 本标准适用于洁净室及相关受控环境内不高于4 m的组合式围护结构。

适用范围：本标准给出了洁净室及相关受控环境的空气过滤器效率分级和各种过滤器的应用要素。 本标准适用于洁净室及相关受控环境中使用的空气过滤器。

适用范围：本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求。 本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用。

适用范围：本标准规定了对洁净室及相关受控环境的性能及合理性评价的程序和内容。 本标准适用于对洁净室及相关受控环境的性能及合理性评价。

适用范围：GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法，以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型，为此，本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求，对于某些检测项目，本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意，也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。 本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。  

适用范围：GB/T 25916的本部分给出了采用洁净室技术控制生物污染时，对生物污染进行评价与控制的综合计划的原理和基本方法。本部分规定了监测风险区的统一的方法，规定了与风险程度相应的控制措施。低风险区域的生物污染控制也可借鉴本部分的规定。 本部分并未给出具体应用要求。本部分未提及消防和安全方面的问题，此类问题应遵守相关法规以及国家或地方的文件要求。

适用范围：GB/T 25915的本部分规定了对洁净室或洁净区进行定期检测的要求，以证明其持续符合GB/T 25915.1 中规定的空气悬浮粒子浓度等级。 这些要求包括GB/T 25915.1说明的洁净室或洁净区的分级检测。此外，还规定了按本部分要求实施的其他检测项目。可按用户要求实施的可选检测项目，本部分也做了说明。 本部分还规定了对洁净室或洁净区（以下简称“设施”）进行监测的要求，以提供其持续符合GB/T 25915.1 中规定的空气悬浮粒子浓度等级的证据。

适用范围：〖HT5H〗〖STFZ〗1范围〖ST〗〖HJ〗[HJ*5/9] GB/T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质（种、组、类）的浓度，对空气分子污染（AMC）进行分级。同时，本部分在分级技术要求中，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下100 g/m3～10-12 g/m3的AMC浓度。 本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。 本部分无意探讨空气分子污染物的特性。 本部分不包含对表面分子污染的分级。

适用范围：GB/T 25915的本部分规定了洁净室运行的基本要求，供准备使用并运行洁净室的人员使用。本部分内容未涉及与污染控制有直接关联的安全问题，相关问题应遵守国家和地方的安全法规。本部分涉及生产各类产品的各个级别的洁净室，应用范围广泛，但未涉及各个行业的特定要求。本部分未包括洁净室的常规监测方法和规划的细节，关于粒子的监测参见GB/T 25915.2和GB/T 25915.3，微生物的监测参见GB/T 25916.1和GB/T 25916.2。