适用范围：本文件适用于半导体制造领域中静电吸盘在真空环境下的温度均匀性测试。 本文件规定了半导体设备用静电吸盘真空条件下温度均匀性的测试原理、仪器设备、样品、测试方法、精密度

适用范围：本文件规定了用于保护静电放电敏感器件(ESDSs)的防静电包装的性能要求和分类，并描述了对应的测试方法，提供了性能限值。ESDS 的防静电包装和包装材料的评估按照本文件描述的测试方法进行。 本文件适用于ESDS 的生产、返修与维护、运输、储存等过程使用的防静电包装。 本文件不适用于电磁干扰(EMI)、电磁脉冲(EMP)或电火工品的防护。

适用范围：本文件规定了微机电结构动态位移参数激光多普勒测量的原理、测量条件、仪器设备、样品、测量步骤。 本文件适用于微机电结构研制、设计、生产和检测。

适用范围：本文件描述了等离子体参数的测试方法。 本文件适用于常压、低压和高真空下激发的等离子体的主要参数测试。 本文件不适用于天体低密度等离子体。

适用范围：本文件规定了在工业过程中测量和控制用压力表的选型、运输和贮存、安装、使用和维护中,为确保其功能、性能、安全性及寿命等满足预期要求,而所需遵循的基本规范。 本文件适用于以弹簧管(C形管、盘簧管、螺旋管)、膜盒、膜片等为弹性元件的机械指针式压力表(以下简称“仪表”)。

适用范围：本文件规定了能够进行移动通信系统外部干扰源定位的移动式干扰测向设备的组成、主要模块技术要求、质量要求。 本文件适用于移动式干扰测向设备的设计、研制和生产。固定式干扰测向设备参照执行。

适用范围：本文件规定了化工专用法兰螺栓副紧固度声学测量仪的分类与型号,工作环境条件、组成与基本功能,要求,出厂检验以及标志、包装、运输和贮存,描述了相应的检验与试验方法。 本文件适用于化工行业利用声辐射信号进行检测的碳钢制法兰螺栓副紧固度声学测量仪(以下简称“测量仪”)。其他行业的测量仪参照执行。 注:螺栓副指由螺栓或螺柱与螺母等配套部件组成的紧固单元。

适用范围：本文件描述了高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法的测量原理、测量装置、测量环境、样品、测量步骤、数据处理以及测量报告。 本文件适用于对可见光或近红外光透明的微纳器件中深宽比不大于50的高深宽比微结构形貌参数的检测与测量。

适用范围：本文件规定了内河、海洋船舶船上噪声级限值。 本文件适用于内河的干货船、液货船、集装箱船、客船、推(拖)船、滚装船、高速船、特定航线江海直达船舶和耙吸式及绞吸式挖泥船，以及1600总吨及以上海洋船舶的噪声级的限定。 本文件不适用于内河的耙吸式及绞吸式挖泥船的作业工况，以及海洋的动力支承船、高速船、渔船、铺管驳船、起重驳、海上移动式钻井平台、非商用游艇、军舰和军用运输船、非机械推进船、打桩船和挖泥船的噪声级的限定。

适用范围：本文件规定了运行表面不规则的测量与分析方法，适用于轨道系统产生的地面诱导结构噪声和地传振动的预测和评估。具体如下： a） 定义了能用于描述轨道或车轮不规则的数据，这些数据能用于量化轨道车辆可能引发地传振动的动态力激励源； b） 对能用于测量不规则（即沿轨道运行方向表面高度变化或车轮几何参数变化）的不同设备选型提供指导； c） 对基于一定钢轨轨头长度或车轮周长上能获取的测量记录得出不规则波长谱估计值的方法提供指导； d） 对表征与振动激发能力相关的一定长度钢轨或车轮状况的不规则谱提供指导。 本文件不提供以下内容： e） 对局部几何特征（如道岔、辙叉、钢轨压溃、偶发的钢轨接头以及运行表面局部几何缺陷）的表征提供指导。由于轮轨接触处的几何形状变化，这些特征产生的动态力可能与其振幅不呈线性关系。因此，本文件中定义的分析方法不适用于表征此类特征。局部几何特征表征的更详细说明见附录A； f） 对能用于不规则测量设备的规格制定或试验方法提供指导。测量设备的概述见附录B； g） 对除地传振动评估以外的其他轨道线路质量测量或分析提供指导； h） 展示典型的不规则谱示例。由于不同线路区段位置的不规则级差异很大，本文件中使用的示例仅为方便演示分析相关原理而选取； i） 推广任何特定品牌、型号或制造商的测量设备； j） 推荐或推广用于实时分析程序的软件。

适用范围：本文件规定了用于列车通过铁路隧道而引起的隧道振动的测量、处理和评价的基本准则。 通过采用标准的程序，在激励源相同的情况下，可随时获取隧道各部分的振动响应数据。在不同隧道中获得的数据也可进行比较。 本文件所考虑的测量是针对隧道结构和其内的辅助部分的响应。这些测量内容不涉及在隧道内或在其附近的人或者是通过隧道的列车中乘客的响应。