GB/T 20230-2022 磷化铟单晶
GB/T 20230-2022 Indium phosphide single crystal
国家标准
中文简体
现行
页数:12页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 20230-2022
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2022-03-09
实施日期
2022-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。
本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。
本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。
发布历史
-
2006年04月
-
2022年03月
研制信息
- 起草单位:
- 中国电子科技集团公司第十三研究所、云南鑫耀半导体材料有限公司、广东先导微电子科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司
- 起草人:
- 孙聂枫、李晓岚、王阳、刘惠生、惠峰、李素青、朱刘、王书杰、邵会民、周铁军、史艳磊、付莉杰、王博、张晓丹、姜剑、王宇
- 出版信息:
- 页数:12页 | 字数:25 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS29.045
CCSH83
中华人民共和国国家标准
/—
GBT202302022
代替/—
GBT202302006
磷化铟单晶
Indiumhoshidesinlecrstal
ppgy
2022-03-09发布2022-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT202302022
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/—《》,/—,
本文件代替GBT202302006磷化铟单晶与GBT202302006相比除结构调整和编辑性
,:
改动外主要技术变化如下
)(,);
更改了适用范围见第章年版的第章
a120061
)“”();
增加了术语和定义一章见第章
b3
)(,);
c更改了磷化铟单晶锭的牌号表示方法见4.12006年版的3.1
)();
d增加了磷化铟单晶抛光片的牌号表示方法见4.2
)(,);
e更改了磷化铟单晶锭电学性能的要求见5.1.12006年版的3.2.2
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增加了型非掺磷化铟单晶锭的电学性能要求见
fn5.1.1
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