• GB/T 31092-2022 蓝宝石单晶晶棒 现行
    译:GB/T 31092-2022 Monocrystalline sapphire bar
    适用范围:本文件规定了蓝宝石单晶晶棒的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本文件适用于衬底、光学用途的蓝宝石单晶晶棒(以下简称“晶棒”)。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H83化合物半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2022-12-30 | 实施时间: 2023-07-01
  • GB/T 12963-2022 电子级多晶硅 现行
    译:GB/T 12963-2022 Electronic-grade polycrystalline silicon
    适用范围:本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2022-12-30 | 实施时间: 2023-07-01
  • GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环 现行
    译:GB/T 41652-2022 Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
    适用范围:本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。本文件适用于p直拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200 mm~450 mm的硅电极及硅环。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2022-07-11 | 实施时间: 2023-02-01
  • GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 现行
    译:GB/T 41325-2022 Low density crystal originated pit polished monocrystalline silicon wafers for integrated circuit
    适用范围:本文件规定了低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片(以下简称Low-COP抛光片)的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。 本文件适用于对晶体原生凹坑敏感的集成电路用直径为200 mm和300 mm、晶向、电阻率0.1 Ω·cm~100 Ω·cm的Low-COP抛光片。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2022-03-09 | 实施时间: 2022-10-01
  • GB/T 26069-2022 硅单晶退火片 现行
    译:GB/T 26069-2022 Annealed monocrystalline silicon wafers
    适用范围:本文件规定了硅单晶退火片(以下简称退火片)的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。 本文件适用于通过退火工艺在硅单晶抛光片表面形成一定宽度洁净区的硅片,产品用于技术代180 nm~22 nm的集成电路。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2022-03-09 | 实施时间: 2022-10-01
  • GB/T 20230-2022 磷化铟单晶 现行
    译:GB/T 20230-2022 Indium phosphide single crystal
    适用范围:本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。 本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H83化合物半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2022-03-09 | 实施时间: 2022-10-01
  • GB/T 20229-2022 磷化镓单晶 现行
    译:GB/T 20229-2022 Gallium phosphide single crystal
    适用范围:本文件规定了磷化镓单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。 本文件适用于制作光电、微电及声光器件用的磷化镓单晶锭及磷化镓单晶研磨片。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H83化合物半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2022-03-09 | 实施时间: 2022-10-01
  • GB/T 40561-2021 光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法 现行
    译:GB/T 40561-2021 Photovoltaic silicon material—Determination of oxygen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
    适用范围:本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定光伏硅材料中氧含量的方法。 本文件适用于生产多晶硅的原料硅粉、工业硅、颗粒多晶硅等光伏硅材料中氧含量的测定,测定范围为氧的质量分数0.0010%~0.40%。其他生产光伏组件的各类晶体硅材料参照使用。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2021-10-11 | 实施时间: 2022-05-01
  • GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法 现行
    译:GB/T 40566-2021 Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
    适用范围:本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。 本文件适用于流化床法颗粒硅中氢含量的测定,其他硅材料参照使用。 注: 本文件测定氢含量的范围取决于所用氢分析仪的量程,最大测定范围为氢量0.000 08 mg~2.5 mg。以质量分数(%)表示的氢分析仪的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如,1 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 008%~0.25%;0.15 g样品最大测定范围的质量分数为0.000 06%~1.66%。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2021-10-11 | 实施时间: 2022-05-01
  • GB/T 20228-2021 砷化镓单晶 现行
    译:GB/T 20228-2021 Gallium arsenide single crystal
    适用范围:本文件规定了砷化镓单晶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。 本文件适用于液封直拉法(LEC)、垂直梯度凝固法(VGF)、垂直布里奇曼法(VB)生长的,用于制备光电子、微电子等器件的砷化镓单晶,不适用于水平布里奇曼法(HB)生长的砷化镓单晶。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H83化合物半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2021-05-21 | 实施时间: 2021-12-01
  • GB/T 39149-2020 回收碲原料 现行
    译:GB/T 39149-2020 Recycled tellurium material
    适用范围:本标准规定了回收碲原料的分类、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、运输、贮存、质量预报单和订货单(或合同)内容。 本标准适用于回收碲原料(以下简称原料)的综合回收利用及贸易。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.150.99其他有色金属产品 【中国标准分类号(CCS)】 :H81半金属
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-10-11 | 实施时间: 2021-09-01
  • GB/T 39150-2020 回收硒原料 现行
    译:GB/T 39150-2020 Recycled selenium material
    适用范围:本标准规定了回收硒原料的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量预报单及订货单(或合同)内容。 本标准适用于硒原料(以下简称原料)的回收处置利用及贸易。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.150.99其他有色金属产品 【中国标准分类号(CCS)】 :H81半金属
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-10-11 | 实施时间: 2021-09-01
  • GB/T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片 现行
    译:GB/T 11094-2020 Gallium arsenide single crystal and cutting wafer grown by horizontal bridgman method
    适用范围:本标准规定了水平法砷化镓单晶(以下简称砷化镓单晶)及切割片的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于光电器件、传感元件等用的砷化镓单晶及切割片。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H83化合物半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-09-29 | 实施时间: 2021-08-01
  • GB/T 14139-2019 硅外延片 现行
    译:GB/T 14139-2019 Silicon epitaxial wafers
    适用范围:本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2019-06-04 | 实施时间: 2020-05-01
  • GB/T 29055-2019 太阳能电池用多晶硅片 现行
    译:GB/T 29055-2019 Multicrystalline silicon wafers for photovoltaic solar cell
    适用范围:本标准规定了太阳能电池用多晶硅片(以下简称硅片)的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。 本标准适用于太阳能电池用铸造多晶硅片(包括类单晶硅片)。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2019-06-04 | 实施时间: 2020-05-01
  • GB/T 29054-2019 太阳能电池用铸造多晶硅块 现行
    译:GB/T 29054-2019 Casting multicrystalline silicon brick for photovoltaic solar cell
    适用范围:本标准规定了太阳能电池用铸造多晶硅块(以下简称硅块)的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于从铸造技术制备的硅锭上切割得到的准方形多晶硅块(包括类单晶硅块)。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2019-06-04 | 实施时间: 2020-05-01
  • GB/T 5238-2019 锗单晶和锗单晶片 现行
    译:GB/T 5238-2019 Monocrystalline germanium and monocrystalline germanium slices
    适用范围:本标准规定了锗单晶和锗单晶片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。 本标准适用于制备半导体器件、激光器组件、红外光学部件用的锗单晶和锗单晶片。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H82元素半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2019-06-04 | 实施时间: 2020-05-01
  • GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范 现行
    译:GB/T 16595-2019 Specification for a universal wafer grid
    适用范围:本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。本标准适用于标称直径100 mm~200 mm的硅片,也适用于其他半导体材料晶片。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H80/84半金属与半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2019-03-25 | 实施时间: 2020-02-01
  • GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范 现行
    译:GB/T 16596-2019 Specification for establishing a wafer coordinate system
    适用范围:本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H80/84半金属与半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2019-03-25 | 实施时间: 2020-02-01
  • GB/T 14844-2018 半导体材料牌号表示方法 现行
    译:GB/T 14844-2018 Designations of semiconductor materials
    适用范围:本标准规定了半导体多晶、单晶、晶片、外延片等产品的牌号表示方法。本标准适用于半导体多晶、单晶、晶片、外延片等产品的牌号表示,其他半导体材料牌号表示可参照执行。
    【国际标准分类号(ICS)】 :29.045半导体材料 【中国标准分类号(CCS)】 :H80/84半金属与半导体材料
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2018-12-28 | 实施时间: 2019-11-01