GB/T 12963-2022 电子级多晶硅
GB/T 12963-2022 Electronic-grade polycrystalline silicon
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。
发布历史
-
1996年11月
-
2009年10月
-
2014年12月
-
2022年12月
研制信息
- 起草单位：
- 江苏鑫华半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新特能源股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司
- 起草人：
- 田新、蒋文武、赵培芝、万首正、李素青、秦榕、王彬、孙燕、贺东江、陈卫群、宗冰、徐岩、邱艳梅、李斌、刘晓霞、张遵、付绪光、董先君、潘金平、张园园、雷聪
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS29.045
CCSH82
中华人民共和国国家标准
/—
GBT129632022
代替/—
GBT129632014
电子级多晶硅
Electronic-radeolcrstallinesilicon
gpyy
2022-12-30发布2023-07-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT129632022
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/—《》,/—,
本文件代替GBT129632014电子级多晶硅与GBT129632014相比除结构调整和编辑
,:
性改动外主要技术变化如下
)(,);
更改了适用范围见第章年版的第章
a120141
)(,);
b更改了牌号要求见4.12014年版的4.1.1
)(,);
c更改了产品等级见4.22014年版的4.1.2
)(,);
d更改了不同等级电子级多晶硅的技术指标见5.12014年版的4.2
)(,);
e更改了结构要求见5.32014年版的4.4
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