GB/T 12963-2009 硅多晶
GB/T 12963-2009 Specification for polycrystalline silicon
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
发布历史
-
1996年11月
-
2009年10月
-
2014年12月
-
2022年12月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人：
- 罗莉萍、张辉坚、王炎
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：7 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛２９．０４５
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中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜１２９６３２００９
代替／—
ＧＢＴ１２９６３１９９６
硅多晶
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２００９１０３０发布２０１００６０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１２９６３２００９
前言
本标准修改采用：《多晶硅规范》，主要差异如下：
ＳＥＭＩＭ１６１１０３２００３
———增加了技术参数，如对基磷、基硼电阻率、碳浓度和型少子寿命的等级要求；
定制服务
推荐标准
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