GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
GB/T 12963-2014 Electronic-grade polycrystalline silicon
基本信息
标准号
GB/T 12963-2014
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
发布历史
-
1996年11月
-
2009年10月
-
2014年12月
-
2022年12月
研制信息
- 起草单位:
- 峨嵋半导体材料研究所、四川新光硅业科技有限责任公司、有研半导体材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司
- 起草人:
- 詹科、杨旭、种娜、黎亚文、梁洪、孙燕、刘晓霞、银波、甘新业、严大洲
- 出版信息:
- 页数:6页 | 字数:8 千字 | 开本: 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 11844-2015 二氧化铀粉末和芯块中氟、氯的测定 高温水解-离子选择性电极法 2015-07-03
- GB 21378-2015 低速货车 燃料消耗量限值及测量方法 2015-07-03
- GB/T 12496.8-2015 木质活性炭试验方法 碘吸附值的测定 2015-07-03
- GB/T 12496.19-2015 木质活性炭试验方法 铁含量的测定 2015-07-03
- GB/T 12626.6-2015 湿法硬质纤维板 第6部分:高湿条件下使用的普通用板 2015-07-03
- GB/T 12496.9-2015 木质活性炭试验方法 焦糖脱色率的测定 2015-07-03
- GB/T 10580-2015 固体绝缘材料在试验前和试验时采用的标准条件 2015-07-03
- GB/T 11846-2015 二氧化铀粉末和芯块中硅的测定 分光光度法 2015-07-03
- GB/T 12626.5-2015 湿法硬质纤维板 第5部分:潮湿条件下使用的普通用板 2015-07-03
- GB/T 12626.7-2015 湿法硬质纤维板 第7部分:室外条件下使用的普通用板 2015-07-03