GB/T 26069-2022 硅单晶退火片

ICS29.045

CCSH82

中华人民共和国国家标准

/—

GBT260692022

代替/—

GBT260692010

硅单晶退火片

Annealedmonocrstallinesiliconwafers

y

2022-03-09发布2022-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT260692022

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,/—,

本文件代替GBT260692010硅退火片规范与GBT260692010相比除结构调整和编辑

,:

性改动外主要技术变化如下

)“”、、、、,

a范围一章增加了包装标志运输贮存随行文件及订货单等内容更改了硅单晶退火片的

(,);

适用范围见第章年版的第章

120101

)“”“”();

增加了术语退火片技术代及其定义见第章

b3

)、、(

增加了和集成电路线宽所需的硅单晶退火片的技术规格见第

c65nm45nm32nm22nm4

章);

)增加了退火片的基本要求应符合/、/、/、/的要

dGBT12962GBT29504GBT12965GBT29508

();

求见5.1

)、、