GB/T 4937.26-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第26部分：静电放电(ESD)敏感度测试 人体模型(HBM)

ICS31.080.01

CCSL40

中华人民共和国国家标准

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GBT4937.262023IEC60749-262018

半导体器件机械和气候试验方法

:()

第部分静电放电敏感度测试

26ESD

人体模型()

HBM

——:

SemiconductordevicesMechanicalandclimatetestmethodsPart26

()—()

ElectrostaticdischareESDsensitivittestinHumanbodmodelHBM

gygy

(:,)

IEC60749-262018IDT

2023-09-07发布2024-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT4937.262023IEC60749-262018

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4仪器和设备………………4

4.1波形确认设备………………………4

4.2示波器………………4

4.3数字示波器的附加要求……………4

()………………………

4.4电流传感器感应电流探针4

4.5评价负载……………5

4.6人体模型模拟器……………………5

4.7HBM测试设备寄生特性……………5

5应力测试设备验证和常规确认…………6

5.1HBM测试设备评价的一般要求……………………6

5.2测试程序……………6

5.3HBM测试设备验证…………………9

5.4插座式测试设备的测试夹具板验证………………10

5.5常规波形检查要求…………………11

5.6高压放电路径检查…………………12

5.7测试设备波形记录…………………12

5.8安全…………………12

6分级程序…………………13

6.1器件分级……………13

6.2参数和功能测试……………………13

6.3器件应力测试………………………13

6.4引脚分类……………13

6.5引脚分组……………15

6.6引脚应力组合………………………15

6.7低寄生模拟器的HBM应力………………………18

6.8应力后测试…………………………18

7失效判据…………………18

8器件分级…………………19

Ⅰ

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GBT4937.262023IEC60749-262018

()…………………

附录A资料性HBM测试方法流程20

()……………

附录资料性测试设备寄生特性

BHBM23

/………………

B.1可选择的后沿脉冲检测设备仪器23

B.2可选的预脉冲电压上升测试设备…………………25

B.3常开式继电器测试设备电容寄生效应……………26

B.4测试确定HBM模拟器是否为低寄生模拟器……………………26

()、……

附录资料性用表表或表及双引脚测试设备测试产品的示例

C232HBM28

C.1概述…………………28

()…………………

程序依照表

C.2A229

()……………

可选程序依照表

C.3B330

()……………

可选程序依照表

C.4C231

()………………

附录资料性耦合非电源引脚对示例

D33

()(/)………………

附录规范性同名非电源引脚抽样测试方法

EIO34

E.1目的和概述…………………………34

E.2引脚抽样概述和统计详情…………34

E.3IC产品选择………………………35

随机选取和测试同名/引脚…………………

E.4IO35

E.5确定是否可以用提供的Excel电子表抽样………36

同名/引脚样本的测试…………………

E.6IOHBM36

抽样同名/引脚的测试示例…………………

E.7IO36

参考文献……………………39

Ⅱ

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前言

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