GB/T 47404-2026 碳化硅单晶

ICS29045

CCSH.83

中华人民共和国国家标准

GB/T47404—2026

碳化硅单晶

Monocrystallinesiliconcarbide

2026-03-31发布2026-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47404—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位北京天科合达半导体股份有限公司山东天岳先进科技股份有限公司南京国盛

:、、

电子有限公司山西烁科晶体有限公司广东天域半导体股份有限公司宁夏创盛新材料科技有限公司

、、、、

杭州晶驰机电有限公司

。

本文件主要起草人佘宗静彭同华王波张红岩李国鹏侯晓蕊丁雄杰蔡振立邹宇娄艳芳

:、、、、、、、、、、

胡建荣郭森

、。

Ⅰ

GB/T47404—2026

碳化硅单晶

1范围

本文件规定了碳化硅单晶的牌号及分类技术要求试验方法检验规则以及标志包装运输贮存

、、、、、、

及随行文件和订货单内容

。

本文件适用于直径不大于的及碳化硅单晶

300mm4H6H。

注产品主要用于制作碳化硅单晶抛光片广泛用于制作电力电子器件射频微波器件及发光二极管发光

:,、(LED)

器件

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

半导体单晶晶向测定方法

GB/T1555

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样

GB/T2828.1—20121:(AQL)

计划

半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法

GB/T6616

硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T6624

硅片参考面结晶学取向射线测试方法

GB/T13388X

半导体晶片直径测试方法

GB/T14140

半导体材料术语

GB/T14264

硅片切口尺寸测试方法

GB/T26067

碳化硅单晶抛光片

GB/T30656

碳化硅单晶片微管密度测试方法

GB/T30868

碳化硅单晶位错密度的测试方法

GB/T41765

半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

GB/T42271

碳化硅晶体材料缺陷图谱

GB/T43612

碳化硅单晶晶型的测试方法

SJ/T11501

碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

YS/T1600

3术语和定义

和界定的术语和定义适用于本文件

GB/T14264GB/T43612。

4牌号及分类

41牌号

.

碳化硅单晶的牌号应符合附录的规定

A。

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