GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片

ICS29.045

CCSH83

中华人民共和国国家标准

/—

GBT306562023

代替/—

GBT306562014

碳化硅单晶抛光片

Polishedmonocrstallinesiliconcarbidewafers

y

2023-03-17发布2023-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT306562023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,/—,

本文件代替GBT306562014碳化硅单晶抛光片与GBT306562014相比除结构调整和

,:

编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了适用范围见第章年版的第章

a120141

)(,);

更改了术语和定义见第章年版的第章

b320143

)();

c增加了按直径150.0mm的分类见4.2.3

)();

增加了直径碳化硅单晶抛光片的技术要求见第章

d150.0mm5

)();

e增加了直径100.0mm半绝缘型碳化硅单晶抛光片的厚度及允许偏差见5.2

)(,);

f更改了总厚度变化的要求见5.22014年版的4.5

)();

g增加了局部厚度变化的要求见5.2

)