GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

ICS31.080.99

L55

中华人民共和国国家标准

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GBT328172016

半导体器件微机电器件总规范

MEMS

——

SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices

GenericsecificationforMEMS

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(:,——

IEC62047-42008SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices

:,)

Part4GenericsecificationforMEMSMOD

p

2016-08-29发布2017-03-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT328172016

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4标准环境…………………1

5标识………………………2

5.1器件识别……………2

5.2器件可追溯性………………………2

5.3包装…………………2

6质量评定程序……………2

6.1总则…………………2

()…………

6.2质量和或性能合格认定2

6.3鉴定批准程序………………………3

7试验和测试程序…………………………6

7.1标准条件和通用预防措施…………6

7.2物理检查……………7

7.3气候和机械试验……………………7

7.4替代试验方法………………………7

()…………

附录规范性附录抽样程序

A8

()………

附录资料性附录工艺与器件的分类

BMEMS9

()……………

附录资料性附录规范性引用文件中标准一致性关系

C13

参考文献……………………16

Ⅰ

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前言